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SiAl旋转靶材

发布时间：2017-10-17

产品详情

应用领域：触摸屏、显示器、薄膜太阳能

性能

参数	典型数值
生产工艺	等离子热喷涂
主要成分	90wt% Si+10wt% Al 92wt% Si + 8wt% Al
纯度	>99.9wt%
密度	≥2.2g/cm³
电阻率	<0.1 Ω·cm
金属杂质含量	Fe≤200ppm, Ni≤50ppm, Cu≤50ppm. Total≤1000ppm
气体杂质含量	O≤6000ppm, N≤1000ppm
靶材尺寸	Maximal OD: 159mm，Length: 4000mm。

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