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品质控制
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品质控制

质量流程

质量控制节点

质量控制节点 控制方式 检测频率 检测设备
原料杂质元素 抽检 每批 ICP、XRF
粉体粒度 抽检 每批 SEM、激光粒度分析仪
氧氮含量 抽检 / 全检 每批 / 每根 氧氮分析仪
靶材质量（密度、电学性能、晶粒尺寸） 抽检 每批 密度计、四探针台、金相显微镜
背板 / 背管质量 全检 每根 精密卡尺
贴合质量 全检 每根 C-SCAN

分析测试设备