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Si旋转靶材

发布时间：2017-10-17

产品详情

应用领域：触摸屏、显示器、薄膜太阳能

性能

参数	典型数值
生产工艺	等离子热喷涂
主要成分	Si
纯度	>99.99wt%
密度	≥2.2g/cm³
电阻率	<40 Ω·cm
金属杂质含量	Fe≤100ppm, Cu≤10ppm, Al≤20ppm. Total≤100ppm
气体杂质含量	O≤2500ppm, N≤500ppm
靶材尺寸	Maximal OD: 151mm，Length: 4000mm。

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