TiOx靶材

发布时间：2017-10-17

应用领域：触摸屏、显示器、光学玻璃

性能

参数	典型数值
生产工艺	等离子热喷涂
主要成分	TiOx(x=1.7-1.9)
纯度	>99.2wt%
密度	≥3.6g/cm³
电阻率	<1×10-3 Ω·cm
金属杂质含量	Fe≤350ppm, Cu≤350ppm, Cr≤500ppm, Al≤350ppm, Ca≤500ppm, Zr≤1000ppm. Total≤8000ppm
靶材尺寸	Maximal OD: 151mm，Length: 4000mm。