NbOx靶材

发布时间：2017-10-17

应用领域：触摸屏、显示器、光学玻璃

性能

参数	典型数值
生产工艺	等离子热喷涂
主要成分	NbOx(x=4.7-4.9)
纯度	>99.9wt%
密度	≥4.7g/cm³
电阻率	<2×10-4 Ω·cm
金属杂质含量	Fe≤100ppm Ca≤150ppm, Cu≤20ppm, Ta≤150ppm, Cr≤10ppm, Zr≤100ppm. Total≤1000ppm
靶材尺寸	Maximal OD: 151mm，Length: 4000mm。