陶瓷靶材
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i-ZnO靶材

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产品详情

应用领域:CIGS薄膜太阳能电池,光学玻璃

性能

参数 典型数值
生产工艺 粉末冶金方法成型,多个靶管/靶块拼接贴合为靶材成品。
主要成分 ZnO
纯度 >99.95wt%
密度 >5.4 g/cm3​
金属杂质含量 Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm.
Total ≤500ppm
靶材尺寸 平面靶
(50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H
旋转靶
(133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H
绑定焊接率 >95%

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